由于压电马达具有体积小高等优势，目前越来越多的用户选择该产品替代传统的电机定位产品。对于这种类型的压电马达，滑块的运动是通过接触点的椭圆振荡产生。如下图所示。

图中的幅图展示了超声波马达的主要结构，也展示了压电马达的两种工作状态，左图接触点沿切线方向移动，即运动方向，右图接触点沿上下运动。对压电陶瓷施加电信号，同时产生这两种模式，并使相位差为正负90°这会使接触点产生椭圆振动如图中幅图所示。此外，接触点的轨迹也可由驱动信号的幅值和频率控制。

该马达是将椭圆振荡推动滑块移动，产生很小的位移，并通过高频率产生极高的速度，通常可达到100mm/s,并且没有噪声，良好的可重复性，电机在定位后无漂移实现自锁。并且拥有较长的使用寿命，通常在10-100km。

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